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电场局域增强激励表面波放电的近期研究
【作者】 陈兆权； 刘明海； 夏广庆； 郑晓亮； 胡业林； 李平； 胡希伟；
【机构】 安徽理工大学 电气与信息工程学院； 华中科技大学 强电磁工程与新技术国家重点实验室； 大连理工大学 工业装备结构分析国家重点实验室；
【摘要】 <正>引言最近几年,低功率微波放电的研究获得了足够重视,原因在于微波放电具有潜在的应用价值。例如,超燃冲压发动机点火技术,其燃料高速流动,传统的点火技术难于奏效,微波放电点燃高速燃料的研究可以解决该科技难题;再如,低气压大面积均匀表面波等离子体(SWP)源的开发,使得大规模集成微电子器件的等离子体处理能效得以提高;等等。这些应用都是源于微波放电等离子体具有密度大、活性高及温度
【基金】 国家自然科学基金(批准号:11105002);工业装备结构分析国家重点实验室开放基金(批准号:GZ1215);安徽高校省级自然科学研究项目(批准号:KJ2013A106)等课题的资助
- 【会议录名称】 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
- 【会议时间】2013-08-15
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TN015
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会