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NiTi合金薄膜生长的Monte Carlo模拟
【机构】 大连理工大学运载工程与力学学部工程力学系；
【摘要】 <正>给出三维Monte Carlo模型模拟NiTi合金薄膜在四边形基底上的生长。本模型将薄膜生长归纳为原子在表面上的沉积,扩散,脱附3个主要的热运动过程,各过程发生的概率由各自的速率所决定。采用嵌入原子势(EAM)计算原子发生扩散前后系统的总能量的变化,本模型研究了不同沉积速率,基体温度及原子覆盖度对NiTi薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响。
- 【会议录名称】 中国力学大会——2013论文摘要集
- 【会议名称】中国力学大会——2013
- 【会议时间】2013-08-19
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国力学学会、西安交通大学