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交流电诱发金属互连线热疲劳可靠性的尺度定律
【机构】 东北大学,材料各向异性与织构教育部重点实验室；
【摘要】 <正>随着微电子及微/纳器件高性能的不断提升,作为芯片中关健材料之一的金属互连线的特征尺寸也在不断减小,其在电/热/力多场耦合作用下的可靠性面临越来越严重的成胁。由于互连线热疲劳损伤的萌生无法测量和探测,目前人们始终未能很好地确定并建立金属互连线的临界损伤应变幅与互连线尺寸(宽、厚)之间的定量关系。本文系统地研究了具有
- 【会议录名称】 第16届全国疲劳与断裂学术会议会议程序册
- 【会议名称】第16届全国疲劳与断裂学术会议
- 【会议时间】2012-11-02
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TN406
- 【主办单位】中国力学学会、中国腐蚀与防护学会、中国机械工程学会、中国材料研究学会、中国航空学会、中国金属学会