新型大尺度矩形表面波等离子体的参数测量

【作者】 陈兆权； 刘明海； 胡业林； 郑晓亮； 李平； 夏广庆； 周启燕； 胡希伟；

【机构】 安徽理工大学电气与信息工程学院； 华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室； 大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室；

【摘要】 <正>纵观国内外近期的研究,在大规模集成电路和液晶显示器的制造过程中,大尺度等离子体源成为必需;微电子器件制作工序的刻蚀、灰化和等离子体化学气相沉积等迫切需要空间均匀的、高密度及高活性化的等离子体源。此外,多晶硅薄膜、金刚石薄膜、碳纳米管等的生成,大尺度高密度等离子体源同样充当重要角色。在众多等离子体源中,平板型表面波等离子体(SWP)源是一种有希望同时满足以上苛刻要求的优良等离子体源。更多还原