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大气压射频介质阻挡放电制备二氧化钛光催化薄膜的研究
【作者】 常大磊； 李小松； 底兰波； 杨晋华； 徐勇； 朱爱民；
【机构】 大连理工大学物理与光电工程学院等离子体物理化学实验室；
【摘要】 二氧化钛薄膜作为一种重要功能薄膜材料,在半导体光催化、太阳能电池、空气净化等领域有着广泛的应用前景。在现有二氧化钛薄膜的沉积技术中,等离子体化学气相沉积(PCVD)因其具有沉积温度低、反应参数容易控制等优点而被大量采用。但PCVD技术多数都是在低气压下进行,需要昂贵的真空系统以及复杂的操作过程。为了克服PCVD技术中存在的上述缺点,大气压介质阻挡放电成为目前研究热点。
- 【会议录名称】 第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集
- 【会议名称】第十五届全国等离子体科学技术会议
- 【会议时间】2011-08-08
- 【会议地点】中国安徽黄山
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会、第十五届全国等离子体科学技术会议组委会