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纳米森林的制备及应用
【作者】 吴文刚；
【机构】 北京大学；
【摘要】 <正>采用常规微电子加工工艺成功制备了纳米森林结构,包括纳米柱森林结构和纳米纤维森林结构。有关制备方法的核心技术是在氧等离子体轰击光刻胶过程中,由于物理化学效应引入了纤维状聚合物材料。将该聚合物材料和常规微加工工艺相结合,可以实现多样化纳米
- 【会议录名称】 2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会摘要集
- 【会议名称】2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会
- 【会议时间】2010-08-01
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TN405
- 【主办单位】中国力学学会微纳米力学工作委员会、IEEE-NTC北京分会、全球华人微纳米分子系统学会