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显微干涉法在微结构三维形貌测试中的应用
【机构】 南京航空航天大学航空宇航学院； 南京东南大学土木工程学院；
【摘要】 <正>鉴于三维形貌在微结构测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在微结构三维形貌测试中的应用研究。基于小波变换极高的去噪性能及处理无载波条纹的优点,包裹相位采用连续小波变换的方法提取。基于展开相位拐点与符号歧义点的单应性,开展了通过检测展开相位拐点并对展
【基金】 国家自然科学基金(10772086,10727201)资助项目
- 【会议录名称】 中国力学学会学术大会’2009论文摘要集
- 【会议名称】中国力学学会学术大会’2009
- 【会议时间】2009-08-24
- 【会议地点】中国河南郑州
- 【分类号】TG806
- 【主办单位】中国力学学会、郑州大学