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基于碳纳米管技术的新型微通道冷却器研究
【机构】 中瑞联合微系统集成技术中心,上海大学机电工程与自动化学院； 上海市应用数学和力学研究所,上海大学；
【摘要】 <正>为应对高功率集成电路发展带来的更严峻散热要求,本文利用碳纳米管极其优良的热传导性能,将其作为微通道结构材料,制备出基于碳纳米管的新型微通道冷却器,从而提高冷却介质与通道内表面之间的热交换能力。其主要优点包括高效的定点冷却能力以及可与芯片制造工艺直接结合。在本文实验研究中,在硅片背面生长碳纳米管簇的阵列,平行排列的碳纳米管簇组成微通道
【基金】 国家自然科学基金(10702037);上海市浦江人才计划(08PJ14054);上海市教委科研创新项目(09YZ01)资助
- 【会议录名称】 中国力学学会学术大会’2009论文摘要集
- 【会议名称】中国力学学会学术大会’2009
- 【会议时间】2009-08-24
- 【会议地点】中国河南郑州
- 【分类号】TN402
- 【主办单位】中国力学学会、郑州大学