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薄膜生长的三维蒙特卡罗模型
【作者】 朱祎国；
【机构】 大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室,大连理工大学工程力学系；
【摘要】 <正>构造了三维蒙特卡罗模型来研究了六边形基底薄膜生长的整个过程,模型中考虑了针对每个原子的3个动力学过程:原子沉积、原子扩散及原子脱附,并且认为这3个过程是相互独立的,即在同一计算步长中,3个过程依
【关键词】 薄膜生长；
三维MonteCarlo模型；
生长方式；
形貌；
【基金】 国家重点基础研究发展计划(973)项目(2005CB321704)资助
- 【会议录名称】 中国力学学会学术大会’2009论文摘要集
- 【会议名称】中国力学学会学术大会’2009
- 【会议时间】2009-08-24
- 【会议地点】中国河南郑州
- 【分类号】O484.1
- 【主办单位】中国力学学会、郑州大学