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金属多层膜硬度基底效应的纳米压痕法研究
【机构】 西安交通大学金属强度国家重点实验室；
【摘要】 <正>一般认为,采用纳米压痕法研究薄膜力学性能时压入深入要小于膜厚的1/7 1/10。如果膜基体系为软膜硬基体则可采用1/4 1/2准则。当薄膜为具有一定调制周期的金属多层膜时,随着调制波长降低薄膜的硬度将增大,膜基体系可能由软膜-硬基体系逐渐过渡为硬膜-软基体
【基金】 国家基础研究计划资助项目(2004CB619302,2006CB601201);国家自然科学基金资助项目(50501019,50701034);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-07-0665);西安应用材料基金(XA-AM-200711)
- 【会议录名称】 中国力学学会学术大会’2009论文摘要集
- 【会议名称】中国力学学会学术大会’2009
- 【会议时间】2009-08-24
- 【会议地点】中国河南郑州
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国力学学会、郑州大学