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微波ECR等离子体化学气相沉积GaN薄膜的特性研究
【机构】 华南师范大学物理与电信工程学院；
【摘要】 <正>作为第三代半导体材料的GaN基蓝光薄膜材料,由于其宽禁带、高亮度、低能耗,并因其和红光、绿光一起构成白光的三基色,在平板显示、光存储、蓝光激光器和功率晶体管等光电子领域将发挥广泛的应用。并成为半导体光电材料工业的主流材料。
- 【会议录名称】 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-07-20
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】O484.4
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会