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真空紫外单光子电离质谱在等离子体诊断中的应用
【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室；
【摘要】 <正>等离子体加工作为一门新兴的技术,是当前国际上一个重要而活跃的前沿领域,是21世纪产业和科学技术的重要基础.介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge),因其设备结构简单、放电均匀稳定、能耗低、电子平均能量高等优点,成为目前产生低温等离子体的重要途径,已被开发和广泛的应用。氟代烷烃介质阻挡放电产生的低温等离子体
- 【会议录名称】 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-07-20
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】O536
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会