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微波等离子体的发射光谱诊断

The Emission Spectra Diagnosis in Microwave Plasma

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【作者】 王淑敏张贵新张庆刘亮

【机构】 清华大学电机工程与应用电子技术系

【摘要】 发射光谱诊断法是获得等离子体各种物理参数最为方便有效的手段之一。作者利用一种特制的大体积微波等离子体装置APMPS+JET产生等离子体,并用发射光谱法诊断其成分。在0.1个大气压封闭条件下分别激发氮气、空气等离子体,在大气压开放条件下通入氦气激发等离子体,诊断结果表明,在空气等离子体和氮气等离子体中都发生了强烈的N2的第二正带跃迁发射(C3Πu→B3Πg),以及OH自由基(A2Σ→X2Π)的发射光谱跃迁。在氦-空气混合等离子体中,在激发到稳定运行过程中持久存在HeⅠ387.15nm特征谱线,只有在等离子体稳定运行时才会出现HeⅠ587.6nm和HeⅠ706.52nm跃迁特征谱线。与空气和氮气等离子体不同的是,在氦-空气等离子体中还发现了明显的N2+发射谱线,说明在氮气与氦气混合的情况下发生了彭宁电离过程,使得电离难度大为降低。

【关键词】 微波等离子体发射光谱彭宁电离
【基金】 国家自然科学基金项目(50477005)
  • 【会议录名称】 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集
  • 【会议名称】第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
  • 【会议时间】2009-07-20
  • 【会议地点】中国辽宁大连
  • 【分类号】O536;TN015
  • 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会
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