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纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术研究
【作者】 陈兆权； 刘明海； 但敏； 唐亮； 饶波； 胡鹏； 胡希伟；
【机构】 华中科技大学 电气与电子工程学院,核聚变与电磁新技术教育部重点实验室；
【摘要】 纵观国内外近几年的研究,TiO2作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转换器、污水处理、空气净化、保洁除菌等领域有着广泛的应用。
【关键词】 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)；
TiO2薄膜；
薄膜表征；
- 【会议录名称】 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集
- 【会议名称】第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
- 【会议时间】2009-07-20
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】O484.1
- 【主办单位】中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会