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单晶硅微裂纹形貌及应变场的纳观实验研究
【机构】 内蒙古工业大学理学院；
【摘要】 本文使用高分辨透射电子显微镜观察了单晶硅中一个纳米级微裂纹,采用几何相位分析和数值云纹研究了裂尖区域的变形场。在约18纳米的尺度分析了微裂纹的晶格结构,经过仔细的观察,发现大部分微裂纹区域的晶格结构是规则的、具有良好周期性的,但数值云纹显示在裂尖区域确实存在一定的形变。经过几何相位分析计算得到了裂尖区域约7纳米大小的应变场,应变场测量结果证实仅在裂纹尖端附近较小区域中存在着一定的变形和应变集中,最大剪切应变值可以达到4.8%,最小线应变值可以达到-6.5%,最大剪切应变值和最小线应变值均位于应变集中区域内,在非应变集中区域内应变分布均匀,且应变值都约为零。
【关键词】 微裂纹；
高分辨透射电子显微镜；
应变；
几何相位分析；
- 【会议录名称】 第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第十二届全国实验力学学术会议
- 【会议时间】2009-07-25
- 【会议地点】中国内蒙古呼和浩特
- 【分类号】O613.72
- 【主办单位】中国力学学会实验力学专业委员会