脉冲激光输出模式对10.6μm介质薄膜损伤的影响

【作者】 曹华梁； 程祖海； 叶克飞； 余亮英； 陈佳元；

【机构】 武汉光电国家实验室(筹)激光科学与技术研究部,华中科技大学光电子科学与工程学院；

【摘要】 <正>采用TEM01模和多模的TEA脉冲二氧化碳激光器和不同焦距的透镜对10.6μm的增透膜进行了破坏实验,对破坏样品进行了显微分析,研究了不同激光模式和不同焦距透镜对薄膜破坏的影响。实验结果表明,在短焦距透镜聚焦时,相同能量密度的单横模激光脉冲焦距前比焦距后更容易造成更多还原