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硅生长过程中磁场对流场及提拉速率的影响

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【作者】 邓谷雨； 陈启生；

【机构】 中国科学院力学研究所；

【摘要】 <正>通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomenaprogram)程序模拟了工业8in单晶硅生长过程。数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长

【关键词】 提拉法； 单晶硅； 流动振荡； 提拉速率振荡；
  • 【会议录名称】 庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）
  • 【会议名称】庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007
  • 【会议时间】2007-08-20
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】O35
  • 【主办单位】中国力学学会
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