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60μm单元尺寸FPA的光学读出红外成像
【作者】 董凤良； 焦斌斌； 张青川； 陈大鹏； 缪正宇； 熊志铭； 伍小平；
【机构】 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室； 中国科学院微电子研究所；
【摘要】 <正>针对光学读出红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大(约300mK)和空间分辨率不高(120μm)的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁
- 【会议录名称】 庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）
- 【会议名称】庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007
- 【会议时间】2007-08-20
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TN215
- 【主办单位】中国力学学会