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考虑边缘效应后微镜新的静电力计算模型及对静态特性的影响分析

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【作者】 陆静向宇袁丽芸马小强

【机构】 广西工学院汽车工程系

【摘要】 <正>基于计及边缘效应的矩形平行板静电力计算公式,建立了扭转微镜的非线性静力学模型,分析了边缘效应对微镜静态特性的影响,并通过与实验数据的比较,证明本文所建立的模型更接近于实

【关键词】 MEMS扭转微镜静电力边缘效应静态特性
【基金】 广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目;广西自然科学基金(桂科自0481028)资助项目
  • 【会议录名称】 庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(下)
  • 【会议名称】庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007
  • 【会议时间】2007-08-20
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】O441.1
  • 【主办单位】中国力学学会
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