【作者】 王小红；

【导师】 过润秋；

【作者基本信息】 西安电子科技大学 ， 机械电子工程， 2004， 硕士

【摘要】 论文课题来源于国防科工委。本文具体研究了MOVCD系统温度控制系统部分。在理论上，参考国内外时滞系统研究成果、结合实际系统具体情况，对温度控制系统部分进行设计；对免疫、人工免疫、免疫反馈机理进行了重点研究，提出了一种基于免疫反馈机理的温度控制思想，设计了一种基于免疫反馈机理的温度控制器。在实际操作上，首先实现系统温度的闭环控制；然后针对实际系统，进一步得到系统温度与设定电压的近似关系曲线图，和系统延时大致的传递函数模型；接着，设计具体的误差参考函数进行衡量，寻求最优控制参数；最后，具体实现该控制算法，并将系统温度控制部分完善为完全手控、完全自控、手控自控相互平滑切换等三种控制模式，实际应用于生产，以供设备操作人员选用。仿真和应用实际表明，这种完善后的控制算法的控制性能优于传统的PI控制算法，在实际生产中得到好评。更多还原

【Abstract】 Supported by the Commission of Science Technology and Industry for National Defense, this paper describes the design of the MOCVD temperature control system. In theory, on the basis of understanding MOCVD technics and the studies of time-delay system, we design the part of temperature control. And after the study emphasis on immune, artificial immune, immune feedback mechanism, a thought of temperature control based on immune feedback mechanism is presented, and then the controller does. In practice, at first, closed-loop control of system temperature is realized; then, approximate curve diagram of system temperature and corresponding voltage has been gained, and further approximate transfer function model of system time-delay. Then, concrete error reference function has been confirmed to search for the optimum control parameters. Finally, the control algorithm is realized, and further develops to three control models for operators to choose. All proof indicates that the developed control algorithm is superior to traditional PI control algorithm.更多还原