高精度波前过程检测技术的研究

【作者】 刘军；

【导师】 刘承；

【作者基本信息】 浙江大学 ， 光学工程， 2004， 硕士

【摘要】 现代光学系统多采用大口径的光学元件来提高系统的测试精度。在普通数字波面干涉仪的基础上，采用目标函数多孔径拼接技术，能很好地解决大口径光学元件检测问题，最终得到较完整的波前信息。 本文首先在较大孔径放大系数(＞4)的情况下，论证了目标函数多孔径拼接技术，保证了较高的精度，得到较完整的波前信息。 然后，结合实验结果，从拼接模式、被测面形、测量误差、数字干涉仪分辨率和不同孔径放大系数等角度出发，分析了各种因素对精度的影响，并详尽的探讨了各种误差源，包括静态误差、动态误差、拟合误差、拼接误差。从工程化的角度对系统优化和改善，提出一些实效的方法，特别是移相器和干涉图处理。 提出从两方面对面形进行评价，一是用传统光学像质评价指标，二是利用PSD从频谱角度评价面形，从而为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形(波前)提供了依据。更多还原

【Abstract】 To improve test precision modern optical system often uses optical element of large aperture. Muti-aperture Overlap-scanning Technique(MAOST) and target function can solve the problem of testing a large optical surface on the basis of ordinary digital interferometer of wavefront, and get the most information of wavefront in the endIn the condition of big Kr, Muti-aperture Overlap-scanning Technique(MAOST) using target function is proved and we can get the most information of wavefront in the case of guarantee of high precision By the aid of simulation,experimental and Tests,many influential factors,i.e.,the apertureconnection mode,shape of mirror , error in subaperture test and Kr are analysed contribute to controlling and testing large optical surface.Moreover,we put forward many schemes to erase errors such as static error,Dynamic error, or make them little.Especially we dicuss how to deal with the phase-shifting cell (PZT) and interferogram.In the end we bring forward two methods to estimate the contour of piano: One is traditional parameter , the other is Power Spectral Density( PSD).更多还原