【摘要】 <正>极紫外是现代科学技术研究和工业应用的重要光波段，其波长范围覆盖10～121 nm，光子能量范围覆盖10～124 eV。该光波段具有其他光波段没有的优秀特性：1）元素周期表上几乎所有元素对该波段的光都有很强吸收，大多数元素的K或者L壳层电子在这个波段也都有着较为显著的特征吸收边，是探测和分辨元素的最佳光波段，因此在原子物理、等离子体物理和生物化学中都有着重要的应用价值；2）纳米量级波长光是实现纳米结构3D成像的理想光波；3）光子能量可以覆盖晶体材料的多个布里渊区，因此可以更加全面地探测纳米材料和量子器件的能带结构和量子特性。但是该波段的光子能量大于原子的最低电离能，能发射这个波段光子的物质只能是等离子体或者自由电子，再加上任何物质对这个波段的光都有很强吸收，因此如何产生这个波段的光波一直以来都是科学家们面临的一个巨大挑战。20世纪50年代，大型同步辐射极紫外光源的出现和发展初步满足了各类科学应用的迫切需求。更多还原