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FED支撑技术研究现状  
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【英文篇名】 CURRENT RESEARCH OF FED SPACER FABRICATION TECHNOLO GY
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【作者】 罗淑云; 盛海峰; 徐旸绯; 于宏宇;
【英文作者】 Luo Shuyun Sheng Haifeng Xu Yangfei Yu Hongy u (Dept of Electronic Engineering; Tsinghua University; Beijing100084 );
【作者单位】 清华大学电子工程系;
【文献出处】 微细加工技术 , MICROFABRICATION TECHNOLOGY, 编辑部邮箱 1999年 02期  
期刊荣誉:CJFD收录刊
【中文关键词】 场致发射显示器; 支撑柱;
【英文关键词】 FED; spacer;
【摘要】 FED(FieldEmisionDisplay,场致发射显示器)是世界上发达国家正在研制的一种具有巨大潜在市场的平板型显示器件,支撑技术是FED研究中的关键技术之一,也是微细加工技术领域的一个有意义的研究课题。叙述了FED对支撑技术的研究要求,介绍了美国、日本的几家公司和研究机构近几年的支撑技术研究方案和结果。
【英文摘要】 FED(Field Emission Display)is a new f lat panel display showing great market potential,on whose fabrication many devel oped countries are doing research.Meanwhile,spacer technology is not only one of the key technologies of FED fabrication but also a meaningfultopic in the field of micro fabrication technolgy.In this paper,the requirements of qualified FED spacers are presented,various spacer fabrication technologies adopted by some r esearch groups and companies in USA and Japan are introduced.
【分类号】 TN141
【正文快照】 1引言FED作为一种新型的显示器件,以其“理想”的显示特性而被称作21世纪的显示器。在FED的制造技术中,支撑技术是影响其质量的关键技术之一。事实上,支撑技术也主要是针对FED这种真空型平板显示器提出的,当FED的阳极基体和阴极基体真空封接在一起后,整个?

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