基于FLUENT的全自动激光划片机辅助喷嘴射流特性研究

【摘要】 在非接触搬运晶圆的全自动激光划片机中,一些翘曲的晶圆会导致切割平台真空吸附失效,从而造成图像模糊、无法自动对准等一系列问题,最终导致全自动激光划片机稳定性降低。本文提出了一种全新的辅助喷嘴结构,通过大量分析晶圆的翘曲方式,得出该结构由中心喷嘴和环形气腔辅助喷嘴组成,应用FLUENT有限元仿真软件,通过改变影响吹气压力的三个重要参数喷距、喷嘴直径、入口压力,对辅助喷嘴的射流特性进行仿真分析,得出辅助喷嘴的最优结构。更多还原