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基于飞秒激光成丝的大幅面激光打标方法

Large-Area Laser Marking Methods Based on Femtosecond Laser Filamentation

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【作者】 陈平王云飞戴子杰龚诚张楠刘伟伟

【Author】 Chen Ping;Wang Yunfei;Dai Zijie;Gong Cheng;Zhang Nan;Liu Weiwei;Institute of Modern Optics, College of Electronic Information and Optical Engineering,Nankai University;

【通讯作者】 刘伟伟;

【机构】 南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所

【摘要】 为了解决激光打标系统中聚焦透镜焦深短等原因导致的系统打标范围小等问题,提出了一种基于飞秒激光成丝效应进行大幅面激光打标的方法,系统地分析了打标范围和分辨率。实验结果表明:飞秒激光成丝可以有效地增大焦深,实现大幅面平面样品的打标以及曲面样品的打标,并在打标系统的有效工作范围内,使分辨率均匀性得到了提高。

【Abstract】 In the conventional laser marking systems, the marking area is usually limited due to the short focal length. Herein, an alternative method is proposed to pursue large-area marking based on femtosecond laser filamentation, and the marking range and resolution are analyzed in detail. The experimental results show that the femtosecond laser filamentation can effectively increase the focal depth and complete marking on large-area flat or curved surface samples. Furthermore, the resolution uniformity is improved within the effective working range of the marking system.

【基金】 国家重点研发计划(2018YFB0504400);国家自然科学基金(11574160);111计划(B16027);强场激光物理国家重点实验室开放课题资助项目
  • 【文献出处】 中国激光 ,Chinese Journal of Lasers , 编辑部邮箱 ,2019年05期
  • 【分类号】TN249
  • 【被引频次】10
  • 【下载频次】341
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