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LNOI光电子集成芯片技术

Optoelectronic Integrated Chip Technologies Based on LNOI

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【Author】 HAN Chunlin;QIAN Guang;HU Guohua;Science and Technology on Monolithic Integrated Circuits and Modules Laboratory;The 55th Research Institute of China Electronic Technology Group Corporation;Advanced Photonics Center, Southeast University;

【机构】微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室；中国电子科技集团公司第五十五研究所；东南大学先进光子学中心；

【摘要】介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望。更多还原

【Abstract】 Technologies about material, optical waveguide fabrication, optical coupling and devices of LNOI were introduced in this paper. Finally, the future development trends of LNOI-based optoelectronic integrated chip were prospected.更多还原

【关键词】薄膜铌酸锂；绝缘层上铌酸锂；集成微波光子；光电集成；
【Key words】 thin film lithium niobate； LNOI； integrated microwave photonics； optoelectronic integration；

【文献出处】光电子技术 ,Optoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2019年03期

【分类号】TN40;TB34
【被引频次】4
【下载频次】592

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