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氮化铌纳米线光学特性  
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【英文篇名】 Optical properties of niobium nitride nanowires
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【作者】 吴洋; 陈奇; 徐睿莹; 葛睿; 张彪; 陶旭; 涂学凑; 贾小氢; 张蜡宝; 康琳; 吴培亨;
【英文作者】 Wu Yang; Chen Qi; Xu Rui-Ying; Ge Rui; Zhang Biao; Tao Xu; Tu Xue-Cou; Jia Xiao-Qing; Zhang La-Bao; Kang Lin; Wu Pei-Heng; School of Electronic Science and Engineering; Nanjing University;
【作者单位】 南京大学电子科学与工程学院;
【文献出处】 物理学报 , Acta Physica Sinica, 编辑部邮箱 2018年 24期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 超导; 吸收率; 氮化硅; 布拉格反射镜;
【英文关键词】 superconducting; absorption rate; silicon nitride; Bragg reflector;
【摘要】 氮化铌(NbN)纳米线是超导纳米线单光子探测器(SNSPD)常用的光敏材料,其光学性质是影响SNSPD性能的关键因素.本文结合实验数据和仿真结果,系统研究了多种NbN超导纳米线探测器器件结构的光学特性,表征了以下四种器件结构下的反射光谱以及透射光谱:1)双面热氧化硅衬底背面对光结构;2)双面SiN硅衬底背面对光结构;3)硅衬底上以金层+SiN缓冲层为反射镜的正面对光结构;4)以分布式布拉格反射镜(DBR)为衬底的正面对光结构.并在上述四种器件结构基础上,生长了不同厚度的NbN薄膜,观察不同厚度NbN薄膜的吸收效率.经分析,发现在不同器件结构下的最佳NbN厚度与光吸收率的关系如下:双面热氧化硅衬底上的NbN层在1606 nm处最大吸收率为91.7%,其余结构在最佳NbN厚度条件下吸收率都能达到99%以上.其中双面SiN的硅衬底结构中最大吸收率为99.3%, Au+SiN为99.8%, DBR为99.9%.最后,将DBR器件实测结果与仿真结果进行了差异性分析.这些结果对高效率SNSPD设计与研制具有指导意义.
【英文摘要】 Niobium nitride(NbN) nanowires are commonly used as photosensitive materials for superconducting nanowire single-photon detectors(SNSPDs). Their optical properties are the key factors influencing the performance of SNSPD.According to the experimental data and simulation results, in this paper we systematically study the optical properties of various niobium nitride nanowire detector device structures, and characterize the reflection spectra and transmission spectra of the following four device structures: 1...
【基金】 国家自然科学基金(批准号:61471189,11227904); 国家重点研发计划(批准号:2017YFA0304000)资助的课题~~
【更新日期】 2019-01-15
【分类号】 TM26;TB383.1
【正文快照】 1引言 超导纳米线单光子探测器丨SNSPD)W因其高探测效率M、低暗计数M、低时间抖动W、宽响应光谱[5]等诸多优点而在量子通信[6,7]、卫星激光测距[8,91、深空激光通信、光时域反射仪UU,海雾测量1121,大气探测激光雷达113,141等领域有着重要应用.SNSPD的系统效率丨SDE)是重要的性

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