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氦氩射频容性放电发射光谱分析  
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【英文篇名】 Emission spectral diagnosis of argon-helium plasma produced by radio frequency capacitive discharge
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【作者】 张秩凡; 高俊; 雷鹏; 周素素; 王新兵; 左都罗;
【英文作者】 Zhang Zhi-Fan; Gao Jun; Lei Peng; Zhou Su-Su; Wang Xin-Bing; Zuo Du-Luo; Wuhan National Laboratory for Optoelectronics; Huazhong University of Science and Technology;
【作者单位】 华中科技大学武汉光电国家研究中心;
【文献出处】 物理学报 , Acta Physica Sinica, 编辑部邮箱 2018年 14期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 光泵亚稳态氩气激光器; 射频放电; 发射光谱分析;
【英文关键词】 optically pumped metastable argon laser; radio frequency discharge; emission spectroscopy analysis;
【摘要】 光抽运亚稳态稀有气体激光器利用放电等离子体作为激光的增益介质.为掌握容性射频放电的放电参数对等离子体各项参数的影响的基本规律,利用等离子体发射光谱法研究了氦氩混合气体在不同装置、不同Ar组分、不同气压和不同射频注入功率下的等离子体参数.利用残留水蒸气产生的OH自由基A~2Σ~+→X~2Π的转动光谱分析获得气体温度;利用电子态光谱的玻尔兹曼做图法获得电子激发温度,利用Ar原子696.5 nm谱线的斯塔克展宽获得电子密度.结果表明:气体温度随气压增加略微上升,在一个大气压下改变组分和放电功率,气体温度变化不大;电子激发温度随总气压的下降而上升,且随着Ar组分的增加而略微下降;目前放电条件下的电子密度均在10~(15)cm~(-3)量级;长时间放电监测表明,残留的水蒸气会导致电子温度的下降,从而降低Ar亚稳态的产率.
【英文摘要】 Optically pumped metastable rare-gas laser(OPRGL) have been proposed to overcome the shortcomings of diodepumped alkali-vapor laser in the recent years. The OPRGL promises to realize high-scale output. But how to achieve enough particle density of metastable atoms is still an open problem. Usually, plasma produced by discharge serves as a gain medium of the OPRGL. Here in this paper, we are to reveal the effects of different discharge parameters on the plasma properties, such as particle density of metastab...
【基金】 武汉光电国家实验室自主创新基金(批准号:0214187070)资助的课题~~
【更新日期】 2018-08-07
【分类号】 TN248.2
【正文快照】 1引言光抽运亚稳态稀有气体激光器(opticallypumped metastable rare-gas lasers,OPRGLs)量子效率高、具有获得高光束质量高功率激光输出的可能性,并克服了LD抽运碱金属蒸气激光器(diode-pumped alkali-vapor laser,DPAL)中碱金属蒸气与缓冲气体反应,污染腔体窗口的缺点,近年来

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