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【英文篇名】 |
Characterization and Fabrication of Micro Air Bearing with Micro Channels Via MEMS Technique |
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【下载频次】 |
★★★★★ |
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【作者】 |
余明星;
李海旺;
吕品;
徐天彤;
谭啸; |
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【英文作者】 |
YU Ming-xing;
LI Hai-wang;
LV Pin;
XU Tian-tong;
TAN Xiao;
National Key Laboratory of Science and Technology on Aero-Engine Aero-Thermodynamics;
School of Energy and Power Engineering;
Beihang University; |
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【作者单位】 |
北京航空航天大学能源与动力工程学院航空发动机气动热力国家级重点实验室; |
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【文献出处】 |
推进技术
, Journal of Propulsion Technology, 编辑部邮箱
2018年 05期
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
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【中文关键词】 |
推进系统;
微型空气轴承;
微机电系统;
刻蚀;
键合; |
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【英文关键词】 |
Propulsion system;
Micro air bearing;
MEMS;
Etching;
Bonding; |
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【摘要】 |
为了研究应用于微型推进系统的微型空气轴承(Micro Air Bearing,MAB)的结构形式及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造工艺,在保证性能需求的前提下,充分考虑轴承结构与MEMS工艺尤其是多层硅直接键合技术(Silicon Direct Bonding,SDB)的兼容性,提出了总厚度为1.5mm的新型结构形式并制定了完整的制造工艺流程;针对微型空气轴承制造的3B(Bearing,Blade,Bonding)挑战,采用变量实验的方法,研究了刻蚀参数对于轴承结构精度的影响规律,轴承侧壁垂直度达到89°,侧壁粗糙度小于10nm,消除了腐蚀扩散等常见的MEMS工艺缺陷,提高了叶片结构的完整性和均匀性,获得了多层硅直接键合的最优工艺参数,通过MATLAB图像处理程序定量分析三层直接键合率达到85%,优于之前报道的结果。研究结果说明,MEMS制造工艺能够用于微型空气轴承的制造,但在结构设计中必须考虑工艺兼容性,刻蚀的偏压功率和腔体压力对于径向轴承的侧壁垂直度和粗糙度具有重要影响,在刻蚀叶片时必须调整刻蚀保护循环比来保证其结构的完整性和均匀性,减少键合层数和... |
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【英文摘要】 |
In order to study the structure and Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)manufacturing process of micro air bearing(MAB)applied to micro propulsion system,on the premise of ensuring performance requirements,the compatibility of the structure with the MEMS process,especially the silicon direct bonding technique(SDB)of multilayer,is fully considered and an innovative structure with a total thickness of 1.5 mm is proposed,the manufacturing process of which is also developed. Many new approaches are proposed to... |
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【基金】 |
国家重点研发计划(2017YFF0107600) |
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【更新日期】 |
2018-06-05 |
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【分类号】 |
V233.45 |
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【正文快照】 |
承和径向轴承的耦合边界条件,认为两者的耦合效1引言应可以有效提高承载能力。张小青[10]将侧壁Taper微型旋转式动力机械以高能量密度、高推质比、及Bow等硅微加工缺陷的膜厚方程与超薄气膜润滑相对低廉的成本等特点[1],可以作为未来微型飞行理论相结合,推导了同时考虑硅微加工 |
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