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电子柱式气动测量仪示值误差的不确定度评定
Evaluation of the Uncertainty of LED-type Pneumatic Measuring Instrument Indication Error
【摘要】 电子柱式气动测量仪是一种测量精度高、测量范围大、能非接触测量出微小尺寸变化的精密测量仪器,配上相应的气动测量头,可以测量多种参数。通过用3等量块直接法对分度值为0.2μm电子柱式气动测量仪示值误差进行测量的不确定度评定,表明此方法能够很好的满足气动测量仪示值误差测量的要求。
- 【文献出处】 精密制造与自动化 ,Precise Manufacturing & Automation , 编辑部邮箱 ,2018年03期
- 【分类号】TH71
- 【被引频次】2
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