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抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量  
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【英文篇名】 Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk
【下载频次】 ★★☆
【作者】 方超; 向阳; 齐克奇;
【英文作者】 Fang Chao; Xiang Yang; Qi Keqi; State Key Laboratory of Applied Optics; Changchun Institute of Optics; Fine Mechanics and Physics; Chinese Academy of Science; University of Chinese Academy of Sciences;
【作者单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 中国科学院大学;
【文献出处】 中国激光 , Chinese Journal of Lasers, 编辑部邮箱 2018年 05期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 测量; 光栅; 相位; 干涉; 串扰; 重复精度;
【英文关键词】 measurement; grating; phase; interference; crosstalk; repeatability precision;
【摘要】 为降低传统光栅横向剪切干涉仪中双方孔空间滤波器带来的加工和装调难度,设计了一种基于9步式零级相位误差标定的光栅横向剪切干涉测量方法,只需采用可变空间滤波器即可抑制零级串扰对相移相位复原的影响。针对数值孔径为0.125的投影光刻物镜,完成了参数设计和原理验证系统的搭建。通过剪切相位复原和波前重构,实现了该物镜的波像差检测。结果表明:其波像差小于20.32nm。最后对该光栅横向剪切干涉仪进行重复精度实验,其重复精度的方均根值为0.1303nm,系统性能良好。
【英文摘要】 In order to reduce the difficulties in manufacture and assembly of the spatial filter with two square windows in image plane,we propose a grating lateral shearing interferometry based on a nine step phase shifting method,which is used to calibrate the zero-order phase error.The zero-order crosstalk could be eliminated only by a variable space filter.The parameters are designed and the principle verification system is completed for a projection lithography lens with numerical aperture of 0.125.Then the wavef...
【基金】 国家重大科技专项(2009ZX02202005)
【更新日期】 2018-06-21
【分类号】 TN305.7;TN713
【正文快照】 2中国科学院大学,北京100049投影光刻物镜是光刻机的核心部件[1-4]。物镜系统波像差检测设备[5-6]是客观评价光刻物镜成像质量的重要仪器,同时可以为光刻镜头精密装调和镜片精修提供定量依据。横向剪切干涉法[7-9]具有结构简单、能够实现亚纳米级超高精度检测等特点,被认为是最

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