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高可靠性瓦级660nm半导体激光器研制  
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【英文篇名】 Fabrication of Highly Reliable Watt-Level 660 nm Semiconductor Lasers
【下载频次】 ★★★★☆
【作者】 朱振; 张新; 肖成峰; 李沛旭; 孙素娟; 夏伟; 徐现刚;
【英文作者】 Zhu Zhen; Zhang Xin; Xiao Chengfeng; Li Peixu; Sun Sujuan; Xia Wei; Xu Xiangang; Shandong Huaguang Optoelectronics Co.; Ltd.; Shcool of Physics and Technology; University of Jinan; State Key Laboratory of Crystal Materials; Shandong University;
【作者单位】 山东华光光电子股份有限公司; 济南大学物理科学与技术学院; 山东大学晶体材料国家重点实验室;
【文献出处】 中国激光 , Chinese Journal of Lasers, 编辑部邮箱 2018年 05期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 激光器; 瓦级激光器; Zn扩散; 半导体激光器; 风冷;
【英文关键词】 lasers; watt-level laser; Zn diffusion; semiconductor laser; air cooling;
【摘要】 利用Zn扩散形成非吸收窗口的技术,制备了大功率660nm半导体激光器。在芯片窗口区用选择性扩Zn方式,使得窗口区有源层发光波长蓝移了61nm,有效降低了腔面的光吸收。制备的激光器芯片有源区条宽为150μm,腔长为1000μm,p面朝下用AuSn焊料烧结于AlN陶瓷热沉上。封装后的器件最高输出功率达到了4.2 W,并且没有出现灾变性光学腔面损伤的现象。半导体激光器的水平发散角为6°,垂直发散角为39°,室温1.5A电流下的激光峰值波长为659nm。使用简易的风冷散热条件,在1.5 A连续电流下老化10只激光器,4000h小时仍未出现失效现象。可见,所制备的660nm半导体激光器在瓦级以上功率连续输出时同时具有可靠性高及使用成本低的优势。
【英文摘要】 The high power 660 nm semiconductor laser is fabricated with non-absorbing window structure by Zn diffusion method.The photoluminescence wavelength of the active layer near the window region blue shifts by61 nm with the selective Zn diffusion in the window region of the chips,which effectively reduces the optical absorption of the cavity facets.The stripe width is 150μm and the cavity length is 1000μm.The chips are sintered with AuSn solder by p-side down onto the AlN heat sink.The packaged device shows the...
【基金】 国家重点研发计划(2017YFB0404901)
【更新日期】 2018-06-21
【分类号】 TN248.4
【正文快照】 0501002-1大功率红光半导体激光器具有体积小、成本低、易于集成等优点,广泛应用于激光存储[1]、激光显示[2]、光动力理疗[3]、抽运飞秒Cr3+…LiSAF及Q开关紫翠玉固体激光器[4]等方面。相比于工业加工及抽运应用的800~1000nm等近红外半导体激光器,大功率660nm的红光半导体激光?

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