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大功率640nm红光半导体激光器的设计及制备  
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【英文篇名】 Design and Fabrication of High Power 640nm Red Laser Diodes
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【作者】 朱振; 肖成峰; 夏伟; 张新; 苏建; 李沛旭; 徐现刚;
【英文作者】 Zhu Zhen; Xiao Chengfeng; Xia Wei; Zhang Xin; Su Jian; Li Peixu; Xu Xiangang; Shandong Huaguang Optoelectronics Co.; Ltd.; Shcool of Physics and Technology; University of Jinan; State Key Laboratory of Crystal Materials; Shandong University;
【作者单位】 山东华光光电子股份有限公司; 济南大学物理科学与技术学院; 山东大学晶体材料国家重点实验室;
【文献出处】 激光与光电子学进展 , Laser & Optoelectronics Progress, 编辑部邮箱 2018年 08期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 激光器; 二极管激光器; 640nm; 窗口结构; 热饱和; 张应变;
【英文关键词】 lasers; laser diodes; 640nm; window structure; thermal rollover; tensile strain;
【摘要】 设计并制备了一款短波长红光640nm的大功率半导体激光器。利用金属有机化学气相沉积技术生长了AlGaInP材料的激光器外延层,其中,限制层使用低折射率的AlInP材料,有源区使用张应变的GaInP/AlGaInP量子阱。外延层有源区的光致发光谱出现两个分裂的发光峰,位于627nm及616nm处,分别对应于电子到轻空穴及重空穴的跃迁。对芯片窗口区域进行选择性Zn扩散,量子阱原子发生混杂,波长蓝移了43nm。不带非吸收窗口的器件在1.9A发生腔面灾变性光学损伤(COD),功率为1.4 W。而带窗口结构的器件没有产生COD,功率输出受限于热饱和,最大功率为2.3 W。室温连续电流测试,1A下波长为639nm,1.5A下波长为640nm。器件水平发散角为6°,垂直发散角为41°。
【英文摘要】 A short wavelength red light 640 nm high power laser diode has been designed and fabricated.AlGaInP epitaxial layers of the laser diodes are grown by metal organic chemical vapor deposition.The cladding layers are AlInP with low refractive index. The active layer is tensile strained GaInP/AlGaInP quantum well. The photoluminescence spectrum of the active layer shows two splitting peaks locate at 627 nm and 616 nm,which correspond to the transitions from electrons to light holes and heavy holes,respectively....
【基金】 国家重点研发计划(2017YFB0404901,2016YFB0401802)
【更新日期】 2018-09-14
【分类号】 TN248.4
【正文快照】 1引言 大功率红光半导体激光器具有体积小、成本低、易于集成等优点,因此被广泛应用于激光存储、激光显示、光动力理疗[1]等方面。其中波长大于650nm的红光激光器研究比较成熟。21世纪初期,由于光存储应用的发展,日本多家电子公司致力于大功率基横模红光半导体激光器的研究。?

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