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大尺寸全息光栅曝光中条纹平移和周期的锁定  
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【英文篇名】 Locking of the Fringe Position and Period in Large-size Holographic Grating Exposure
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【作者】 张栋; 赵成强; 徐文东; 张益彬; 闫昱琪;
【英文作者】 ZHANG Dong; ZHAO Cheng-qiang; XU Wen-dong; ZHANG Yi-bin; YAN Yu-qi; Key Laboratory of High Power Laser Materials; Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics; Chinese Academy of Sciences; University of Chinese Academic of Sciences;
【作者单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室; 中国科学院大学;
【文献出处】 光子学报 , Acta Photonica Sinica, 编辑部邮箱 2018年 02期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 全息光栅; 干涉条纹; 相位锁定; 光栅周期; 干涉光刻;
【英文关键词】 Holographic grating; Interference fringe; Phase locking; Grating period; Holographic lithography;
【摘要】 采用双光束干涉曝光法制作大尺寸全息光栅时,由于温度变化、空气流动、振动等因素的干扰,曝光条纹相对于光栅基板存在平移和周期变化,从而造成光栅对比度下降。分析了大尺寸光栅曝光过程中条纹的动态变化情况,结果表明:3h内条纹平移和周期变化的均方根值分别为1.87、1.20个条纹周期,对比度的数值模拟结果分别为12.83%、67.37%.构建了由三组条纹监视系统、计算控制系统和两组压电位移台组成的曝光条纹锁定系统,实现了条纹平移和周期的同时锁定.锁定之后得到的光栅槽型和对比度明显优于未锁定时的情形,锁定精度为:平移3σ值为0.009个条纹周期,对比度为99.99%,周期变化均方根值为0.017个条纹周期,对比度为99.77%,满足大尺寸光栅曝光对条纹稳定性的要求.
【英文摘要】 The position and period of grating fringes will vary against the substrate during double beam interference exposure due to temperature variation,air flow,vibration and other factors in the fabrication of large-size holographic gratings.It will result in the decrease of grating contrast.The dynamic change of fringes was analyzed during large-size grating exposure.The Root-Mean-Square(RMS)errors of fringe translation and period in 3 hours are 1.87 and 1.20 period respectively.The corresponding simulative grat...
【基金】 国家自然科学基金(No.11604352)资助~~
【更新日期】 2018-01-25
【分类号】 TN25
【正文快照】 -100502010引言米级全息光栅在高功率激光器的啁啾脉冲放大系统[1]、大口径天文望远镜的光谱分析[2]等系统中具有重要应用.全息光栅的制作方法主要有扫描干涉场曝光[3]、静态干涉场曝光和拼接法[4].在静态干涉场曝光过程中,外界环境的干扰,如温度波动、空气流动、器件和平台的?

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