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红外光谱椭偏仪测量硫系玻璃As_2Se_3折射率的准确性  
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【英文篇名】 Accuracyin Refractive Index Measurement of As_2Se_3 Chalcogenide Glass by IR Spectroscopic Ellipsometer
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【作者】 李阳; 刘永兴; 戴世勋; 徐铁峰; 林常规; 陈飞飞;
【英文作者】 Li Yang; Liu Yongxing; Dai Shixun; Xu Tiefeng; Lin Changgui; Chen Feifei; Laboratory of Infrared Materials and Devices; Research Institute of Advanced Technologies; Ningbo University; Key Laboratory of Photoelectric Materials and Devices of Zhejiang Province;
【作者单位】 宁波大学高等技术研究院红外材料及器件实验室; 浙江省光电探测材料及器件重点实验室;
【文献出处】 光学学报 , Acta Optica Sinica, 编辑部邮箱 2018年 06期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 测量; 折射率; 准确性; 红外椭偏仪; As2Se3硫系玻璃;
【英文关键词】 measurement; refractive index; accuracy; infrared ellipsometer; As2Se3 chalcogenide glasses;
【摘要】 采用自制的As_2Se_3玻璃棒,制备了具有不同厚度、背面粗糙度和表面光洁度的样品,借助红外光谱椭偏仪测试了样品折射率,通过光学模型拟合得到了其折射率参数。对比分析了厚度、背面粗糙度和表面光洁度对样品折射率的影响。结果表明:样品厚度、背面粗糙度和表面光洁度都会明显影响椭偏仪的测量精度,其中表面光洁度是关键因素。样品厚度应控制在1~3mm,同时增大样品背面粗糙度和样品表面光洁度,可显著提高椭偏仪的测试精度。
【英文摘要】 The As_2Se_3 specimens with different thicknesses,roughnesses and surface smoothnesses are prepared by use of homemade As_2Se_3 glass rods.The refractive indices are measured by the infrared spectroscopic ellipsometer,and an optical model is built to obtain the refractive indices by fitting.The influences of thickness,roughness and surface smoothness on the refractive indices of specimens are comparatively analyzed.The results show that all factors have obvious influences on the measurement accuracy of the ...
【基金】 国家重点研发计划(2016YFB0303800); 国家自然科学基金(61675105); 宁波大学王宽诚幸福基金
【更新日期】 2018-07-18
【分类号】 O435.1
【正文快照】 折射率是最基本的光学材料性能参数之一,也是重要的光学设计参数之一。近些年来,随着红外热成像[1]、红外传感[2]、红外制导[3]等技术的发展,红外光学材料在军事和民用领域获得了广泛的应用。硫系玻璃作为一类性能优良的红外光学材料,具有红外透过性能良好、组分可调、热化学稳

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