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双弯管磁过滤阴极真空弧技术沉积超厚多层钛掺杂类金刚石膜  
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【英文篇名】 Ultra-thick Multilayer Ti-doped DLC Films Deposited By Double Bend-tube Magnetic Filter Cathode Vacuum Arc Technology
【下载频次】 ★★★★☆
【作者】 姜其立; 王浩琦; 周晗; 庞盼; 刘建武; 廖斌;
【英文作者】 JIANG Qi-li; WANG Hao-qi; ZHOU Han; PANG Pan; LIU Jian-wu; LIAO Bin; College of Nuclear Science and Technology; Beijing Normal University; Beijing Radiation Center;
【作者单位】 北京师范大学核科学与技术学院; 北京市辐射中心;
【文献出处】 中国表面工程 , China Surface Engineering, 编辑部邮箱 2018年 03期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 超厚DLC膜; Ti掺杂; 双弯管; 磁过滤阴极真空弧沉积; C2H2;
【英文关键词】 ultra-thick DLC films; Ti-doped; double bend-tube; magnetic filtered cathodic vacuum arc deposition; C2H2;
【摘要】 极端工况对关键部件涂层的性能要求较高,作为常用涂层,薄类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)膜因其厚度的局限性已不能满足日益增长的性能需求,因此超厚DLC膜的制备工艺具有较大的现实意义。采用双弯管磁过滤阴极真空弧沉积技术制备多层Ti掺杂DLC膜,并通过显微维氏硬度计、摩擦磨损试验仪、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、能谱仪(EDS)、透射电子显微镜(TEM)、X光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)等对膜的结构和性能进行表征。结果表明:薄膜的沉积速率最高可达0.40μm/min;随着沉积过程中C2H2流量的增加,Ti掺杂DLC膜中超硬Ti C相的相对含量降低,因此导致膜硬度降低,同时热稳定性变差;通过金属掺杂以及多层复合结构的方法能够有效制备低内应力的DLC膜,同时实现超厚DLC膜(最高可达42.3μm)的制备。
【英文摘要】 Extreme operating conditions have high requirement for the performance of key component's coatings. As a common coating, thin diamond-like carbon(DLC) films cannot meet the increasing performance requirements due to the limited thickness. Therefore, developing preparation technology of ultra-thick DLC films has practical significance in researching. Multilayer Ti-doped DLC films were prepared by the deposition technology of double bend-tube magnetic filter cathode vacuum arc. Vickers hardness tester, fricti...
【基金】 北京市共同建设专项基金(110651102)~~
【更新日期】 2018-07-23
【分类号】 TG174.4
【正文快照】 类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)膜是一类主要包含着sp2键和sp3键、物理化学性质类似于金刚石的非晶态碳膜[1],DLC膜具有许多与金刚石相似的性能,比如高硬度、耐磨损并具有良好的化学稳定性、电绝缘性、耐腐蚀性等等,在工业领域有着非常广泛的应用前景[2-4]。前苏联是世界上

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