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基于非平衡分子动力学的氧化锌薄膜热导率的模拟  
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【英文篇名】 Simulation of thermal conductivity of zinc oxide thin films based on unbalanced molecular dynamics
【下载频次】 ★★★★☆
【作者】 白素媛; 王斌; 贾孟晗; 丛士博; 吴宝丽;
【英文作者】 BAI Suyuan; WANG Bin; JIA Menghan; CONG Shibo; WU Baoli; College of Physics and Electronics Technology; Liaoning Normal University;
【作者单位】 辽宁师范大学物理与电子技术学院;
【文献出处】 鞍山师范学院学报 , Journal of Anshan Normal University, 编辑部邮箱 2018年 06期  
期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 氧化锌薄膜; 分子动力学模拟; 热导率; 尺寸效应;
【英文关键词】 zinc oxide film; molecular dynamics simulation; thermal conductivity; size effect;
【摘要】 氧化锌薄膜是在微电子领域有着广泛应用的半导体材料,其导热特性对微电子器件的性能有重要影响.采用非平衡(NEMD)分子动力学方法和优化的Buckingham势函数对纤锌矿氧化锌纳米薄膜热导率进行数值模拟.模拟结果表明:室温下厚度范围在29.15～45.81 nm之间的氧化锌薄膜热导率数值在0.909 95～1.251 26 W/(m·k)之间,具有明显的尺寸效应;当系统温度从100 k升高到500 k时,薄膜热导率下降趋势明显.该文所研究的内容在氧化锌纳米薄膜热传导领域具有一定的实际应用价值.
【英文摘要】 Zinc oxide film is a semiconductor material widely used in the field of microelectronics,and its thermal conductivity has an important influence on the performance of microelectronic devices.The non-equilibrium( NEMD) molecular dynamics method and the optimized Buckingham potential function were used to numerically simulate the thermal conductivity of wurtzite zinc oxide nanofilm.The simulation results show that the thermal conductivity of the zinc oxide film with a thickness ranging from 29.15 to 45.81 nm ...
【基金】 辽宁省自然科学基金:异构时变网络的参量观测与同步控制器的设计(2015020079)
【更新日期】 2019-01-16
【分类号】 TN304.05
【正文快照】 氧化锌薄膜相对于其它半导体材料制备所需的温度更低,制备过程更简单且制备成本低,凭借其稳定的热力学性质、良好的化学性能和光电磁等特性成为当今研究的热点[1].纳米薄膜材料是微电子器件的重要组成部分,薄膜导热性能在很大程度上决定了微电子器件和微电子系统的性能和安全性

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