微电子工艺实习实践教学研究

【摘要】 微电子专业包含半导体工艺、器件以及集成电路等相关研究方向,是21世纪我国重点发展的技术方向,与国家经济、科技发展密切相关。针对本科教学过于偏重理论课程,导致学生很难在工作中迅速掌握实用技能的现状,各高校正在逐步提高实践教学比例。开设微电子专业学生的工艺实习课程,能够使学生更加直接的接触半导体行业核心技术,通过亲身体验了解半导体器件、集成电路生产等的加工与设计之间的关系,从而促进学生对半导体器件、集成电路设计等课程的学习。开展工艺实习课程是微电子专业学习的重要实践环节,对后续学习、研究奠定重要基础。更多还原