补偿系统在压力传感器中的应用-中国学术期刊网络出版总库

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补偿系统在压力传感器中的应用

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【作者】	方建雷; 孙凤玲; 宋成君; 张鹏; 耿振亚;
【作者单位】	中国电子科技集团公司第四十九研究所;
【文献出处】	科技创新导报 , Science and Technology Innovation Herald, 编辑部邮箱 2017年 01期期刊荣誉：CJFD收录刊
【中文关键词】	压阻式传感器; 高精度集成芯片; 智能补偿;
【摘要】	为提高硅压阻式传感器在宽温区上的精度,利用传感器高精度集成芯片实现智能数字化补偿,将传感器及其外围器件抽象为数学多项式,通过多项式拟合来消除误差。全文介绍了该系统的硬件组成、通信协议和软件设计。实验结果表明,该系统数据传输稳定,生产效率高,可满足硅压阻式传感器小批量智能补偿。
【更新日期】	2017-04-13
【分类号】	TP212
【正文快照】	当今的现代化产业中,压力传感器扮演了很重要的角色。由于M EMS压力传感器具有高性能、低成本和小尺寸等优点,被广泛地应用于汽车电子、工业控制、消费电子、航天航空和医疗等领域。M E M S压力传感器是微系统世界里第一个出现的M EMS器件,该项技术已相当成熟,且市场空间很大。

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