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γ射线总剂量辐照对单轴应变Si纳米n型金属氧化物半导体场效应晶体管栅隧穿电流的影响  
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【英文篇名】 Influence of γ-ray total dose radiation effect on the tunneling gate current of the uniaxial strained Si nanometer n-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor
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【作者】 郝敏如; 胡辉勇; 廖晨光; 王斌; 赵小红; 康海燕; 苏汉; 张鹤鸣;
【英文作者】 Hao Min-Ru; Hu Hui-Yong; Liao Chen-Guang; Wang Bin; Zhao Xiao-Hong; Kang Hai-Yang; Su Han; Zhang He-Ming; Key Laboratory of Wide Band-Gap Semiconductor Materials and Devices; School of Microelectronics; Xidian University;
【作者单位】 西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件重点实验室;
【文献出处】 物理学报 , Acta Physica Sinica, 编辑部邮箱 2017年 07期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 单轴应变Si; 纳米n型金属氧化物半导体场效应晶体管; 总剂量; 栅隧穿电流;
【英文关键词】 uniaxial strained Si; nanometer NMOSFET; total dose; tunneling gate current;
【摘要】 基于γ射线辐照条件下单轴应变Si纳米n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)载流子的微观输运机制,揭示了单轴应变Si纳米NMOSFET器件电学特性随总剂量辐照的变化规律,同时基于量子机制建立了小尺寸单轴应变Si NMOSFET在γ射线辐照条件下的栅隧穿电流模型,应用Matlab对该模型进行了数值模拟仿真,探究了总剂量、器件几何结构参数、材料物理参数等对栅隧穿电流的影响.此外,通过实验进行对比,该模型仿真结果和总剂量辐照实验测试结果基本符合,从而验证了模型的可行性.本文所建模型为研究纳米级单轴应变Si NMOSFET应变集成器件可靠性及电路的应用提供了有价值的理论指导与实践基础.
【英文摘要】 The carrier microscopic transport process of uniaxial strained Si n-channel metal-oxide-semiconduct or field-effect transistor(NMOSFET) is analyzed under γ-ray radiation.The model of radiation-induced defect densities that are quantitative representations of trapped charges integrated across the thickness of the oxide(N_(ot)),and the number of interface traps at the semiconductor/oxide interface(N_(it)),is established.The variations of electrical characteristics of the uniaxial strained Si nanometer NMOSFET...
【基金】 国家自然科学基金(批准号:61474085); 陕西省科技计划项目(批准号:2016GY-085)资助的课题~~
【更新日期】 2017-04-27
【分类号】 TN386
【正文快照】 1引言随着微电子集成电路技术的快速发展,以互补型金属氧化物为核心的半导体技术已进入纳米尺度.栅氧化层厚度仅有几个纳米,导致沟道反型层中的载流子隧穿栅氧化层概率增大,从而增大了单个器件的栅电流及静态功耗,而当前的集成电路已进入超大规模,因此引起整个电路静态功耗急剧

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