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多功能键合仪研制及在教学中的应用  
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【英文篇名】 Development of multifunctional bonding instrument and its application in teaching
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【作者】 王蔚; 封迪; 田丽;
【英文作者】 Wang Wei; Feng Di; Tian Li; School of Astronautics; Harbin Institute of Technology;
【作者单位】 哈尔滨工业大学航天学院;
【文献出处】 实验技术与管理 , Experimental Technology and Management, 编辑部邮箱 2017年 11期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 阳极键合; 教学实验; 键合仪; 电流监测;
【英文关键词】 anodic bonding; teaching experiment; bonding instrument; current detection;
【摘要】 对硅/玻璃阳极键合进行了实验技术研究,阐述了实验设计思路;确定了实验的内容和方法,据此研制出能直观显示硅/玻璃界面键合情况以及键合电流-时间曲线的多功能键合实验仪。通过键合操作、现象观察和深入分析,使学生更加深入了解键合机理、掌握影响键合效果与效率的主要因素。该实验技术有助于提升学生的动手能力、分析能力以及综合素质。
【英文摘要】 The research on experimental technology for the silicon and glass anodic bonding is carried out,the design idea of the experiment is expounded,and the content and method of the experiment are determined.Based on this,a multifunctional bonding experimental instrument which can directly display the silicon and glass interface bonding and the bonding current-time curve is developed.Through the bonding operation,phenomenon observation and in-depth analysis,students can better understand the bonding mechanism an...
【基金】 黑龙江省自然科学基金项目(E200917); 哈尔滨工业大学教学实验室建设项目
【更新日期】 2017-12-06
【分类号】 TN405
【正文快照】 键合技术是微电子机械系统(micro-electrome-chanical systems,MEMS)领域的关键技术之一,已被广泛应用于MEMS微结构制造、芯片封接和系统装配之中[1]。所谓“键合”是指质地相同或不同的固体材料,通过外加热、电、微波、超声等的作用,使紧密接触的两种材料界面形成化学键而结合

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