《薄膜物理与技术》精品资源共享课程的教学实践与认识

【摘要】 "薄膜物理与技术"是微电子、光电子等相关专业本科生非常重要的专业基础课,其教学目的是让学生掌握薄膜技术的制备系统与加工方法,以及常用的薄膜性能表征技术,同时还应了解前沿薄膜材料的最新制备技术。本文结合资源共享课程建设存在的共性问题,从课程网站建设、教学理念和模式升华,教学内容、方法及课件的凝练、教学环节及教学内容建设、师资队伍的建设等方面探讨薄膜物理与技术课程的教学实践和认识。更多还原