光刻实验教学模式的探讨

【摘要】 本文先对光刻的概念和光刻工艺的基本流程进行了介绍,然后基于实际实验教学中的光刻实验,对目前教学实验条件和代课情况进行说明,通过对目前教学实验课程的总结,在后续章节中,提出了在目前条件和情况下,能够完善和丰富实验课程的想法,对现有教学模式的不足之处进行补充,进一步点出光刻实验的教学对于整个半导体器件工艺实验的重要性,同时也阐述了本人对实验课程的看法,认为实验课在本科生教学中,起着十分重要的作用。更多还原