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MEMS加速度计重力法校准的实验研究
【摘要】 在低频范围内,受到振动位移的限制,标准振动台输出的加速度很小,致使被校加速度计的信噪比较低,产生较大的校准误差。地球重力法通过改变被校加速度计的灵敏轴与重力场的夹角,可以在低频范围内生成高达1g的加速度。本文根据这一特性设计了地球重力法校准系统,通过信号采集仪实时采集转动过程中MEMS加速度计的输出电压,并计算出在该转动频率下MEMS加速度计的灵敏度。
【基金】 国家自然科学基金青年资助项目(51605461);公益性行业科研专项经费(201410009)
- 【文献出处】 计量技术 ,Measurement Technique , 编辑部邮箱 ,2017年12期
- 【分类号】TH824.4
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