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一种大量程压力传感器的结构优化设计与仿真分析  
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【英文篇名】 A Structure Optimized Design and Simulation Analysis of a Wide Range Pressure Sensor
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【作者】 聂萌; 杨恒山;
【英文作者】 NIE Meng; YANG Hengshan; Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education; Southeast University;
【作者单位】 东南大学MEMS教育部重点实验室;
【文献出处】 传感技术学报 , Chinese Journal of Sensors and Actuators, 编辑部邮箱 2017年 12期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 压力传感器; 大量程; 线性; 抗过载; 有限元分析;
【英文关键词】 pressure sensor; wide measurement range; linear; overload ability; finite element analysis;
【摘要】 设计了一种大量程硅压阻式压力传感器,通过理论模型分析优化传感器结构尺寸,保证薄膜的线性变化和抗过载能力;并通过有限元建模分析可动薄膜位移及应力随压力变化关系,对结构进行优化设计;同时用有限元仿真验证理论分析的正确性。通过理论与仿真优化分析,提出了采用C型膜片一体化硅压阻式压力传感器结构,可动薄膜选用方膜边长为1 000μm,厚度为50μm,实现0~2 MPa的压力测量。
【英文摘要】 A wide measurement range pressure sensor was designed. The sensor dimension was optimized through theoretical model analysis to ensure the film linear change and the ability of resisting overload. The structure design was optimized through the analysis of variations of the displacement and the stress of the movable membrane with the loaded pressure. At the same time the correctness of theoretical model was verified by the finite element simulation.Through theoretical and simulation optimization analysis,the...
【基金】 国家科技支撑项目(2015BAF16B01); 国家自然科学基金项目(61474023); 江苏高校品牌专业建设工程项目
【更新日期】 2018-01-05
【分类号】 TP212
【正文快照】 硅压阻式压力传感器是利用半导体材料硅的压阻效应制成的传感器,具有灵敏度高,动态响应快,测量精度高,稳定性好,工作温度范围宽,易于小型和微型化,便于批量生产和使用方便等特点。因此成为近年来在工业应用,医疗生物,航空航天,无人机等各个领域被广泛的应用,发展迅速的MEMS传感

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