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沉积工艺参数对磁控溅射AlSn20Cu涂层性能的影响  
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【英文篇名】 Effect of deposition parameter on properties of AlSn20Cu coating prepared by magnetron sputtering
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【作者】 宋惠; 刘智勇; 唐纬虹; 杨润田; 凌国平;
【英文作者】 SONG Hui; LIU Zhiyong; TANG Weihong; YANG Runtian; LING Guoping; Institute of Corrosion and Surface Engineering; Ningbo Branch of Chinese Academy of Ordnance Science; School of Materials Science and Engineering; Zhejiang University;
【作者单位】 中国兵器科学研究院宁波分院表面与腐蚀科学研究室; 浙江大学材料科学与工程学院;
【文献出处】 兵器材料科学与工程 , Ordnance Material Science and Engineering, 编辑部邮箱 2017年 06期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 AlSn20Cu涂层; 制备参数; 性能; 轴瓦;
【英文关键词】 AlSn20Cu coating; preparation parameter; properties; bearing;
【摘要】 针对目前国内柴油机轴瓦减摩涂层研究的不足,采用非平衡磁控溅射技术制备AlSn20Cu涂层,通过单因素变量法系统地研究基体温度、沉积气压以及基体偏压等参数对AlSn20Cu减摩涂层性能的影响,最终确定AlSn20Cu涂层的最优制备条件。在考察AlSn20Cu涂层的力学性能与摩擦学性能后发现:基体温度与沉积气压两个因素对AlSn20Cu涂层的结合力影响较小,而对涂层硬度有较大影响;基体偏压对涂层的结合力与硬度均有较大影响。实验还制备出具有优异力学性能和摩擦学性能的AlSn20Cu涂层的轴瓦样品。
【英文摘要】 The AlSn20Cu coating was prepared by unbalanced magnetron sputtering process. The influence of substrate temperature,deposition pressure and substrate bias on the properties of AlSn20Cu coating was analyzed and the optimized preparation technology was further confirmed. The mechanical and tribological properties of AlSn20Cu coating prepared by appropriate parameters were evaluated. The results show that both substrate temperature and deposition pressure play a minor role in determining the adhesive strength...
【基金】 国家自然科学基金(51705482); 中国博士后科学基金(2017M612041)
【更新日期】 2017-12-11
【分类号】 TG174.4
【正文快照】 高新技术的发展对在极端苛刻工况条件下服役的润滑防护材料及具有优异摩擦磨损性能的工程润滑技术提出了迫切需求,研究和发展具有高承载力、减摩耐磨和环保要求的新型防护涂层势在必行[1]。轴瓦作为柴油发动机的重要部件,其服役工况逐渐向高速、高载发展,同时其一经运行,难以维

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