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极高真空测量中微小离子流检测技术研究  
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【英文篇名】 THE STUDY ON DETECTION TECHNOLOGY OF TINY ION CURRENT FOR EXTREMELY HIGH VACUUM MEASUREMENT
【下载频次】 ★★☆
【作者】 孙健; 李得天; 王永军; 张虎忠; 张琦;
【英文作者】 SUN Jian; LI De-tian; WANG Yong-jun; ZHANG Hu-zhong; ZHANG Qi; Lanzhou Institute of Physics;
【作者单位】 兰州空间技术物理研究所;
【文献出处】 真空与低温 , Vacuum and Cryogenics, 编辑部邮箱 2016年 02期  
期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 极高真空; 测量; 微小离子流; 检测;
【英文关键词】 extremely high vacuum; measurement; tiny ion current; detection;
【摘要】 为解决极高真空测量中电离真空计微小离子流的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术,实现了10~(-14)A微小离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空计进行试验测试,验证了该设计电路能够准确检测10~(-9)Pa极高真空下的电离真空计离子流,为实现极高真空测量设备国产化提供了技术参考。
【英文摘要】 In order to detect the extremely low ion current in ionization gauge when it is used to measure extremely high vacuum,a current-to-voltage conversion circuit equipped with low-pass filter,zero-point adjustment and phase compensation technology is designed in this paper,which can accurately measure the extremely low ion current about 10~(-14) A.By verifying present circuit with different gauge type,it is found that the designed circuit can precisely detected the extremely low ion current generated in 10~(-9)...
【基金】 国家杰出青年科学基金(No.61125101); 国家重大科学仪器设备开发专项(No.2013YQ24042108)
【更新日期】 2016-05-10
【分类号】 TB772
【正文快照】 0引言近年来,随着我国深空探测、高能粒子加速器、核聚变、表面科学、微电子器件等高新尖端技术领域的迅速发展,对极高真空(XHV)测量技术提出了迫切需求。国内10-8~10-10Pa范围内的真空测量仪器完全依赖国外进口。因此,实现极高真空的准确测量,并促进极高真空测量仪器的国产化,

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