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塑性微成形技术研究进展  
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【英文篇名】 The State of the Art in Plastic Micro-forming
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【作者】 单德彬; 徐杰; 王春举; 郭斌;
【英文作者】 SHAN Debin; XU Jie; WANG Chunju; GUO Bin; Key Laboratory of Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing of Ministry of Education; Harbin Institute of Technology;
【作者单位】 哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室;
【文献出处】 中国材料进展 , Materials China, 编辑部邮箱 2016年 04期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 微成形; 尺度效应; 微型零件; 超细晶材料; 微机电系统;
【英文关键词】 micro-forming; size effect; micro-parts; ultrafine-grained materials; MEMS;
【摘要】 随着微纳米科学和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术的快速发展,人们对微型零件的需求日益增加。塑性微成形是一种采用塑性变形,成形零件尺寸至少有两个方向在亚毫米量级的微制造方法,具有加工效率高、工艺简单以及成形零件性能优异和精度高等特点,特别适合于微型零件的低成本批量制造。介绍了塑性微成形技术的研究背景、应用领域及其优点,综述了微成形在尺度效应、新设备以及工艺方法等方面的最新研究进展,并论述了微成形技术在新材料(超细晶材料及非晶材料)方面的发展趋势。
【英文摘要】 With the rapid development of micro / nano science and micro-electro-mechanical systems( MEMS) technology,the requirements for micro-parts are quietly increased. Micro-forming is a manufacturing method using plastic deformation for the production of parts having at least two dimensions in the sub-millimeter range. Micro-forming becomes an attractive option in the manufacturing of micro products with high efficiency,simple process,excellent properties and high accuracy because of its advantageous characteris...
【基金】 国家重大科学研究计划(2012CB4102); 国家自然科学基金资助项目(51375111)
【更新日期】 2016-07-25
【分类号】 TG306
【正文快照】 1前言随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术的快速发展和逐步进入实用化,人们对微型零件的需求日益增加[1],尤其是应用到微系统的三维微结构零件,例如,微电子元器件、微型执行机构的微型齿轮类零件、纺织印染领域阵列微喷孔类零件、生物医疗以及光学领域

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