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基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术  
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【英文篇名】 Technology of target inspection by diffraction interferometer based on sub-aperture stitching
【下载频次】 ★★★
【作者】 卢丙辉; 刘炳国; 孙和义; 陈凤东; 刘国栋;
【英文作者】 Lu Binghui; Liu Bingguo; Sun Heyi; Chen Fengdong; Liu Guodong; School of Electrical Engineering and Automation; Harbin Institute of Technology;
【作者单位】 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院;
【文献出处】 强激光与粒子束 , High Power Laser and Particle Beams, 编辑部邮箱 2016年 02期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 移相衍射干涉测量; 靶丸; 表面形貌; 子孔径拼接;
【英文关键词】 phase-shifting diffraction interferometry; target; surface topography; sub-aperture stitching;
【摘要】 为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测,建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置,给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法,并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭代收敛速度缓慢,甚至不收敛的问题,提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径,将点云进行横向压缩的方法,在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后,对直径1mm的镀金球靶进行了实际测量,得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为1.332λ和0.479λ的检测结果,可以同时获得表面形貌的整体起伏特征,以及局部的形貌细节。
【英文摘要】 In order to inspect the surface topography of spherical target accurately,efficiently and exhaustively,which is the core component in inertial confinement fusion experiment,a shape detection system is founded based on the technologies of subaperture stitching and diffraction interferometry.The basic testing principle and the calculation method of lateral resolution in once single measurement are provided.The configuration of sub-aperture is planned for the rotation scanning of the target.In order to solve t...
【基金】 国家自然科学基金项目(61275096,51275120); 哈尔滨工业大学科研创新基金项目(HIT.NSRIF201098)
【更新日期】 2016-03-09
【分类号】 TL632
【正文快照】 惯性约束聚变[1-2](ICF)采用球形内爆增压技术,以高功率、高能量密度的激光轰击球形靶丸,使靶丸内的氘氚燃料达到点火条件,从而形成自持的热核反应,被认为是解决未来能源危机最有前景的方案。作为ICF核心部件的球形靶丸,其表面微小的形貌缺陷都可能引发不对称压缩,导致实验效率

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