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积累氦质谱组合检测中防止漏检的方法  
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【英文篇名】 Methods of Preventing Detection Missing in Accumulative Helium Mass Spectrometry Combination Test
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【作者】 王庚林; 李宁博; 董立军; 李飞; 刘永敏;
【英文作者】 WANG Geng-lin; LI Ning-bo; DONG Li-jun; LI Fei; LIU Yong-min; Beijing Keytone Electronic Relay Corporation Ltd.;
【作者单位】 北京市科通电子继电器总厂有限公司;
【文献出处】 中国电子科学研究院学报 , Journal of China Academy of Electronics and Information Technology, 编辑部邮箱 2016年 04期  
期刊荣誉：ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 密封性检测; 积累氦质谱; 粗漏检测; 细漏检测; 漏检; 漏孔堵塞;
【英文关键词】 Hermeticity test; accumulative helium mass spectrometry; gross-leak test; fine-leak test; detection missing; the leak blocking;
【摘要】 作者在积累氦质谱组合检测中发现存在粗漏漏检现象,美国宇航局2013年2014年的研究报告揭示,各种组合检测复测中均存在粗漏细漏漏检现象。文章对积累氦质谱组合检测和氩粗漏氦细漏组合检测的粗漏检测,提出了确定最长粗漏检测时间的方法;对这两种组合检测和氦质谱检测的细漏检测,综合给出了定量确定和拓展细漏检测最长候检时间的方法,论证了压氦压力不应小于2倍的大气压力,提出了确定预充氦法和预充氦氩法最小候检时间的方法,提出了确定最长细漏检测时间的方法,从而可减少和防止粗漏和细漏漏检;并通过对美国宇航局报告中实例的分析,验证了以上方法的有效性。同时指出漏孔堵塞是造成漏检的原因之一,但不是形成微型元器件高比率漏检的主要原因。
【英文摘要】 The author found that the detection missing situation always occurred in the gross-leak test of the accumulative helium mass spectrometry combination test. The gross / fine-leak detection missing situation,as reported in 2013 and 2014 NASA's Hermeticity Correlation Study,also occurs in repetitive tests for different combination tests. For gross-leak test of the accumulative helium mass spectrometric combination test and the combination test by using argon as gross-leak tracer gas and using helium as fine-le...
【更新日期】 2016-09-21
【分类号】 TB774.3
【正文快照】 0引言为了满足高可靠装备长期贮存和工作的应用需求,为了实现密封元器件更加严密的密封性检测,自二十一世纪初开始,国际上相继出现了积累氦质谱组合检漏仪(CHLD),氪85组合检漏仪(Kr85)和光干涉组合检漏仪(OLT)。文献[1]已介绍,自2012年以来,作者同Infi-con公司、中国电子四院、

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